M-Serie
Die M-Serie ist das Nonplusultra in der Hochleistungs-Schichtdickenmessung für kleinste Merkmale. Die Polykapillaroptik der M-Serie ist fortschrittlicher als die O-Serie und fokussiert den Röntgenstrahl auf 15μm FWHM. Zur Messung von Merkmalen in diesem Maßstab ist eine Kamera mit 150-facher Vergrößerung und einem noch höheren Digitalzoom im Lieferumfang enthalten. Das Sichtfeld wird mit höherer Vergrößerung stärker eingeschränkt, weshalb eine zweite Kamera ein Makrobild des zu messenden Teils aufnimmt. Das Doppelkamerasystem ermöglicht es dem Bediener, das gesamte Teil zu sehen, auf das Bild zu klicken, um es mit der hochauflösenden Kamera zu vergrößern und das zu messende Merkmal zu zeigen.
Mit dem hochpräzisen, programmierbaren XY-Tisch können mehrere Punkte ausgewählt und gemessen werden; die Mustererkennungssoftware kann dies auch automatisch tun. Es gibt ein 2-D-Mapping-System, mit dem die Topografie einer Beschichtung auf der Oberfläche eines Teils, z.B. eines Silizium-Wafers, dargestellt werden kann. Die Standardkonfiguration umfasst die 15μm Optik und einen hochauflösenden SDD-Detektor zur Verarbeitung der höheren Zählraten. Ein programmierbarer XY-Tisch ist ebenfalls Standard. Das Optiksystem hat eine kleinen Messabstand. Daher müssen die mit der M-Serie zu messenden Proben flach sein.
|
Röntgenanregung 50 W (50kV, 1mA) Mikrofokus Röntgenröhre mit Mo-Anode und 15 µm Polykapillaroptik FWHM |
Messbare Schichtaufbauten und Zusammensetzungen 5 Schichten (4 Schichten + Basis) und 10 Elemente in jeder Schicht. Analyse der Zusammensetzung mit bis zu 25 Elementen simultan |
|
|
Detektor SDD-Detektor mit 135 eV Auflösung oder besser |
Filter 4 Primärfilter |
|
|
Fokusabstand Fester Fokusabstand 1,27 mm |
Digitaler Pulsprozessor Digitaler Vielkanalanalysator mit 4096 Kanälen und flexibler Verarbeitungszeit. Automatische Signalverarbeitung mit Totzeitkorrektur und Escape Peak Korrektur |
|
|
Video Vergrößerung 250x: mit Dualkamera 45x: mit Single Kamera auf 15“ Bildschirm |
Prozessor: Intel, CORE i5 3470 (3.2 GHz), 8 GB DDR3 Speicher, Microsoft Windows 10/11 Prof, 64 bit equivalent |
|
|
Umgebungsbedingungen: 20 °C bis 25 °C und bis zu 98 % Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
Kamera: 1/4″ CMOS-1280×720 VGA Auflösung |
|
|
Gewicht 70 kg |
Netzanschluss: 150 W, 100~240 Volt; Frequenzbereich 47 Hz bis 63 Hz |
|
|
Programmierbarer XY-Tisch: Größe: 431 x 406 mm Verfahrweg: 165 x 165 mm hochpräzis |
Maße (H x B x T): Kammer: 137 mm, 310 mm, 340 mm Außenmaße: 500 mm, 450 mm, 600 mm |
|
|
Element Bereich Aluminium 13 bis Uran 92 |
